| 主权项 |
1.一种具真空诊断的光感测器,包含:一封闭的外壳,具有一腔室及一可透光部;数可导电的接脚,是分别贯穿外壳,并分别具有一邻接腔室的真空侧导接端,及一邻接外界的大气侧导接端;一电路板,是容置在外壳的腔室内,并与接脚的真空侧导接端连接;一感测晶片,是与电路板连结且面对外壳的可透光部;及一真空计,是容置在外壳的腔室内,并与接脚电性连接,使真空计可量测腔室内的真空度,并藉由接脚将讯号传递至外界。2.依据申请专利范围第1项所述之具真空诊断的光感测器,其中,该外壳具有一基座、一陶瓷基部及一封盖,该基座具有环绕一轴线并界定出该腔室的围绕壁,该围绕壁形成有开放的一第一端口与一第二端口,该陶瓷基部是封闭基座的第一端口,并具有一与围绕壁烧结为一体的外周面,及数沿该轴线方向贯穿且分别供各该接脚穿置的插孔,该封盖是封闭基座的第二端口。3.依据申请专利范围第1项所述之具真空诊断的光感测器,该真空计是直接与接脚连接。4.依据申请专利范围第1项所述之具真空诊断的光感测器,其中,该真空计是与电路板连接,再透过电路板与接脚连通。图式简单说明:第一图是一剖视图,说明一般的光感测器;第二图是一立体图,说明本新型具真空诊断的光感测器的一较佳实施例;第三图是一剖视图,说明该较佳实施例中一真空计是直接与数接脚连接;及第四图是一剖视图,说明该较佳实施例的另一实施样态。 |
