| 主权项 |
1.一种薄膜构造元件,其特征在于:由具有一个以上之面以及与此面成既定角度且相连之其他一个以上之面之薄膜所构成。2.如申请专利范围第1项所述之薄膜构造元件,其中,上述一个以上之面与上述其他之一个以上之面系由上述薄膜一体形成。3.如申请专利范围第1项所述之薄膜构造元件,其中,上述既定角度大体上为90。4.如申请专利范围第2项所述之薄膜构造元件,其中,上述既定角度大体上为90。5.如申请专利范围第1项所述之薄膜构造元件,其中,上述薄膜构造元件具有扭曲弹性。6.如申请专利范围第2项所述之薄膜构造元件,其中,上述薄膜构造元件具有扭曲弹性。7.如申请专利范围第1项所述之薄膜构造元件,其中,上述薄膜构造元件具有反射光线之反射面。8.如申请专利范围第2项所述之薄膜构造元件,其中,上述薄膜构造元件具有反射光线之反射面。9.如申请专利范围第1项所述之薄膜构造元件,其中,上述薄膜系由气相沉积法或液相沉积法中任一者所形成。10.如申请专利范围第2项所述之薄膜构造元件,其中,上述薄膜系由气相沉积法或液相沉积法中任一者所形成。11.如申请专利范围第9项所述之薄膜构造元件,其中,上述气相沉积法系为溅镀法、真空蒸镀法或化学气相沉积法中任一项。12.如申请专利范围第9项所述之薄膜构造元件,其中,上述液相沉积法系为电镀法。13.一种薄膜构造元件之制造方法,包括以下步骤:形成具有凹部之牺牲层于固定构造体上,且上述凹部系由相对于主表面成既定角度且相连之其他一个以上之面所构成;沿着上述凹部,形成薄膜于上述牺牲层表面;及除去上述薄膜下之上述牺牲层;而形成由上述薄膜所构成之薄膜构造元件于上述固定构造体上,且上述薄膜具有一个以上之面以及与此面成既定角度且相连之其他一个以上之面。14.一种开关元件,包括:固定构造体;及可动构造体配置于上述固定构造体上;其特征在于包括:支持元件,配置于上述可动构造体上;可动元件,藉由弹性元件而连接至上述支持元件上;及驱动装置,作用既定之力于上述固定构造体上所形成之上述可动元件上;上述弹性元件系由薄膜所构成之薄膜构造元件,其中,上述薄膜系由一个以上之面以及与此面成既定角度且相连之其他一个以上之面所构成。15.如申请专利范围第14项所述之开关元件,其中,上述既定角度大体上为90。16.如申请专利范围第14项所述之开关元件,其中,上述驱动装置系为对上述可动元件作用磁力之电磁铁。17.一种开关元件,包括:固定构造体;及可动构造体,配置于上述固定构造体上;其特征在于包括:支持元件,配置于上述可动构造体上;可动元件,藉由弹性元件而连接至上述支持元件上;及驱动装置,作用既定之力于上述固定构造体上所形成之上述可动元件上;上述可动元件系为薄膜构造元件,其中,上述薄膜构造元件具有反射光线之平坦反射面以及与此反射面成既定角度且相连之一个以上之面。18.如申请专利范围第17项所述之开关元件,其中,上述既定角度大体上为90。19.如申请专利范围第17项所述之开关元件,其中,上述驱动装置系为对上述可动元件作用磁力之电磁铁。20.如申请专利范围第14项所述之开关元件,其中包括:第一电性接点,设置于上述固定构造体上;以及第二电性接点,设置于上述可动元件上且与上述第一电性接点可能接触。图式简单说明:第1a图系显示本发明之实施例中开关元件之构成范例之平面图;第1b图系显示本发明之实施例中开关元件之构成范例之剖面图;第2a~2e图系概略显示弹性部3c、3c'之构成范例之立体图;第3a~3j图系显示第1图中之开关元件之制造过程之步骤图;第4a~4f图系接续第3j图显示第1图中之开关元件之制造过程之步骤图;第5a图系显示本发明之其他实施例中之开关元件之构成范例之平面图;第5b图系显示本发明之其他实施例中之开关元件之构成范例之剖面图;第6a图系显示本发明之其他实施例中之开关元件之构成范例之平面图;第6b图系显示本发明之其他实施例中之开关元件之构成范例之剖面图;第7a~7e图系概略显示可动部3a之构成范例之立体图;第8a~8g图系显示可动部3a之制造过程之步骤图;第9a图系显示本发明之其他实施例中之开关元件之构成范例之平面图;第9b图系显示本发明之其他实施例中之开关元件之构成范例之剖面图;第10a图系显示习知之开关元件之构成范例之平面图;第10b图系显示习知之开关元件之构成范例之剖面图;第11图系显示为说明习知之开关元件之问题点之剖面图;第12图系显示为说明习知之开关元件之问题点之剖面图;第13图系显示习知之开关元件之枢轴弹簧之构成之立体图;以及第14图系显示习知之开关元件之反射镜之构成之立体图。 |
