主权项 |
1.一种引导流体物质流通涂布之封闭容具改良结构,其系由封闭容具的中央位置处设有容置槽,使该晶圆封闭容置其间,且于两侧各设有导入口及导出口,并与容置槽间形成导流口,俾以构成主流导管,其特征在于:该主流导管近导出口处朝壁缘延伸有数交错相接之支引管,且该支引管相应于容置槽端布设有导孔,俾与主流导管于底座与盖体间形成封闭之导引回路者。2.依申请专利范围第1项所述之引导流体物质流通涂布之封闭容具改良结构,其中每一支引管皆延伸穿出盖体外形成引注口,并各藉由梢塞来堵住该引注口。图式简单说明:第一图系为习用一般封闭容器之外观示意图。第一之一图系为习用一般封闭容器之上透视图。第二图系为本创作之外观示意图。第三图系为本创作之上透视图。第三之一图系为本创作由导出口视之的剖视图。第三之二图系为本创作由另一方向视之的剖视图。第四图系为本创作之导流实施示意图。 |