具氧化障壁层之电容器及其制造方法

摘要

本发明系提供电容器及其制造方法，其系应用于防止下层电极于后续热处理制程中被氧化。此电容器包括：一下层电极；形成于下层电极上之氧化障壁层，其中该氧化障壁层系至少由双重氮化层所形成；一形成于氧化障壁层上之介电层；及一形成于介电质上之上层电极。