发明名称 |
METODO Y APARATO PARA EL CONTROL DE PRESION EN PROCESADORES A VACIO. |
摘要 |
<p>Un método para controlar la presión en una cámara de procesado que ha sido sometida a evacuación (106), que comprende los pasos de: recuperar de la memoria electrónica (190) un valor deseado de la presión que refleje un nivel de presión deseado para la cámara de procesado; recuperar de la memoria electrónica un valor deseado del flujo de gas que represente un caudal de gas deseado a través de la cámara de procesado; situar en posición una válvula de estrangulación (124) en una posición inicial, la válvula de estrangulación usada para controlar la presión en la cámara de procesado; medir la presión dentro de la cámara de procesado; calcular una diferencia entre la presión deseada y la presión medida; y a continuación de dicho paso de colocar en posición, modificar la posición de la válvula de estrangulación al menos una vez sobre la base de la diferencia entre la presión deseada y la presión medida caracterizado porque: dicha modificación de la posición se efectúa usando control proporcionaly control integral, siendo retardado el control integral en lo correspondiente a un período de tiempo predeterminado.</p> |
申请公布号 |
ES2197633(T3) |
申请公布日期 |
2004.01.01 |
申请号 |
ES19990915129T |
申请日期 |
1999.03.30 |
申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
MCMILLIN, BRIAN, K.;KAVEH, FARRO F.;BARNES, MICHAEL |
分类号 |
G05D16/20;(IPC1-7):G05D16/20 |
主分类号 |
G05D16/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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