| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003242012(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.31 |
| 申请号 |
AU20030242012 |
申请日期 |
2003.06.04 |
| 申请人 |
MURATA MANUFACTURING CO., LTD. |
发明人 |
YOSHIHIRO ITO;MICHIO KADOTA |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C16/40;H01L21/36;H01L21/363;H01L29/786;H01L33/18;H01L33/28;H01L33/42;H01S5/327;H01S5/347;(IPC1-7):H01L29/22;H01L33/00;H01L21/365 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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