| 发明名称 |
Interferometry systems involving a dynamic beam-steering assembly |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003249334(A8) |
申请公布日期 |
2003.12.31 |
| 申请号 |
AU20030249334 |
申请日期 |
2003.06.17 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION |
发明人 |
HENRY HILL;JUSTIN KREUZER |
| 分类号 |
G01B11/26;G01B9/02;G01B11/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B9/02;G03F7/20 |
主分类号 |
G01B11/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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