| 发明名称 |
GAS DISCHARGE ULTRAVIOLET WAVEMETER WITH ENHANCED ILLUMINATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003237901(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.31 |
| 申请号 |
AU20030237901 |
申请日期 |
2003.05.23 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
RICHARD, L. SANDSTROM;JOHN, T. MELCHIOR;RAHASEKHAR RAO |
| 分类号 |
H01S3/00;G01B9/02;G01J1/42;G01J9/02;G03F7/20;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/04;H01S3/041;H01S3/08;H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/0975;H01S3/102;H01S3/104;H01S3/105;H01S3/1055;H01S3/11;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/139;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;H01S3/23 |
主分类号 |
H01S3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
