砷化镓基复合收集区弹道传输异质结双极晶体管

摘要

一种砷化镓基复合收集区弹道传输异质结双极晶体管，具有多重收集区结构，器件结构包括：一半绝缘砷化镓衬底；一N⁺掺杂的砷化镓子收集区，该N⁺掺杂的砷化镓子收集区生长在半绝缘砷化镓衬底上；一复合收集区，该复合收集区生长在N⁺掺杂的砷化镓子收集区上；一很重掺杂的P型砷化镓基区，该很重掺杂的P型砷化镓基区生长在复合收集区上；在基区上形成有一N型铟镓磷发射区，最上面是为制作欧姆接触用的帽层，在帽层上形成发射极，在基区上、N型铟镓磷发射区的两侧形成有基极。

主权项

1、一种砷化镓基复合收集区弹道传输异质结双极晶体管，具有多重收集区结构，其特征在于，器件结构包括：一半绝缘砷化镓衬底；一N+掺杂的砷化镓子收集区，该N+掺杂的砷化镓子收集区生长在半绝缘砷化镓衬底上；一复合收集区，该复合收集区生长在N+掺杂的砷化镓子收集区上；一很重掺杂的P型砷化镓基区，该很重掺杂的P型砷化镓基区生长在复合收集区上；在基区上形成有一N型铟镓磷发射区，最上面是为制作欧姆接触用的帽层，在帽层上形成发射极，在基区上、N型铟镓磷发射区的两侧形成有基极。