自动地控制半导体制造工艺的装置和方法

摘要

一种在半导体工厂中自动地控制半导体制造工艺的装置和方法，以防止对异常制造批次进行下一批次工艺该方法包括：a)接收批次技术要求数据和批次工艺数据；b)比较二数据，以确定二数据之间的差异是否在预定的范围内；c)如果二数据之间的差异超出或低于预定的范围，那么产生表示发生异常制造批次的第一信息；d)响应于第一信息产生第一事项，第一事项表示批次为异常制造；e)将第一事项存储到存储装置内；f)将第一事项传送到历史记录管理装置；以及g)产生第二信息通知第一事项传送到历史记录管理装置。

主权项

1.一种在半导体工厂自动化系统中自动地控制半导体制造工艺的装置，包括：一条公用通信线；多个工艺设备，连接到公用通信线，每个设备处理一个批次；多个设备控制装置，每个装置根据来自外部的命令控制工艺设备；多个测试设备，每个测试已处理的批次产生批次工艺数据；多个测试设备控制装置，每个接收批次工艺数据以传送批次工艺数据；存储装置，分别存储批次工艺数据，其中存储装置已预先存储了批次的技术要求数据；比较装置，连接到公用通信线，比较批次工艺数据和批次技术要求数据，以确定处理的批次数据和批次技术要求数据之间的差异是否超出或低于预定的范围，其中如果差异超出或低于预定的范围，那么比较装置产生表示发生异常制造批次的第一信息；事项产生装置，连接到公用通信线，响应于第一信息产生第一事项，第一事项表示批次为异常制造，从而，避免对异常制造批次进行下一批次工艺；管理批次历史记录的历史记录管理装置；其中第一事项传送到历史记录管理装置，其中事项产生装置产生第二信息，通知第一事项传送到历史记录管理装置。