| 发明名称 |
DEVICE FOR POSITIONING AN OPTICAL ELEMENT IN A STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003242653(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.31 |
| 申请号 |
AU20030242653 |
申请日期 |
2003.06.07 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
ULRICH WEBER;HUBERT HOLDERER;DIRK REXHAEUSER |
| 分类号 |
G02B7/18;G02B7/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B7/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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