半导体制造厂厂区的配置形态

摘要

一种半导体制造厂厂区的配置形态，它包含七个主要区域：正六边形区域、周边左右四个等角六边形区域以及周边上下两个可与邻近六边形相契合的梯形区域。该配置形态可将与物流最相关的制程区置于厂区并可藉由各区域间以最短的直线距离来规划区间的自动化物料搬运系统以联系各区内的暂存区，进而有效提升物料搬运的效率。此外，可针对各制程区在面积上的需求、不同数量规模的机台设备群组的布置等需求进行弹性规划以提升整体面积的利用率。此外，可满足区内机台设备在环境上以及功态上的需求并具有益于集中管理与控制。此外，这种配置形态还可简化建筑结构在施工上的难度，并可强化建筑结构的抗震性与稳定性。

主权项

1.一种半导体制造厂厂区的配置形态，其特征在于，至少包括：第一正六边形区域，位于该整体形态的中央，而该整体形态的中央另包括一个与第一正六边形区域相等但对角线长度为该第一正六边形区域的对角线长度再加上4/√3的中央外围走道宽度的第二正六边形，以构成第一正六边形区外侧的等宽的中央外围走道区域，而该第二正六边形的六个边，依次为第一边、第二边、第三边、第第四边、第五边与第六边；第一等角六边形区域，与该第二正六边形的第一边相邻，且相邻的两边相互结合；第二等角六边形区域，与该第二正六边形的第三边相邻，相邻的两边相互结合；第三等角六边形区域，与该第二正六边形的第四边相邻，且相邻的两边相互结合，并与该第二等角六边形区域相邻；第四等角六边形区域，与该第二正六边形的第六边相邻，且相邻的两边相互结合，并与该第一等角六边形区域相邻；第一梯形区域，其内角分别为60°、120°、120°、60°，而该梯形区域较短的底边与该第二正六边形的第二边相邻，且相邻的两边相互结合，且该梯形区域分别与该第一和第二等角六边形区域相邻；及第二梯形区域，其内角分别为60°、120°、120°、60°，而该梯形区域较短的底边与该第二正六边形的第五边相邻，且相邻的两边相互结合，且该梯形区域分别与该第三和第四等六边形区域相邻。