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发明名称 ACID ETCHING MIXTURE HAVING REDUCED WATER CONTENT
摘要
申请公布号 AU2003238253(A1) 申请公布日期 2003.12.31
申请号 AU20030238253 申请日期 2003.06.18
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 MICHAEL, A. DODD;WOLFGANG SIEVERT;KURT-UWE ZIMMERMAN;JOHN MCFARLAND
分类号 C09K13/04;C23F1/00;C23F1/24;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C09K13/04
代理机构 代理人
主权项
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