压力式指纹读取晶片及其制造方法

摘要

本发明公开了一种压力式指纹读取晶片及其制造方法，包括有多个压力传感器，该晶片应用电荷分享来读取每一传感器上的信号，并结合积体电路的制造方法来制造传感器。压力传感器为一含有空气间隙的平行板感测电容，该感测电容包含一浮动上电极板及一固定下电极板。当手指接触施压于浮动上电极板时，改变了空气间隙的厚度进而改变电容值，而二维压力传感器阵列便可以读取手指施加的二维的压力分布，作为一指纹读取原理。本发明中设在指纹读取晶片之外的资料读取、逻辑控制、界面格式乃至于封装结构的引脚都完全与商用高密度快闪记忆体相容，因此可以将本发明的压力式指纹读取晶片作为资讯产品的镶入式指纹读取装置，或成为外挂式指纹读取装置。

主权项

1.一种压力式指纹读取晶片，包含：一压力传感器阵列，即多个压力传感器，在每一压力传感器中设置有一平行板感测电容、一参考电容及一信号读取单元，所述参考电容与平行板感测电容连接，平行板感测电容的一侧作为手指的接触面，通过感受手指的压力而改变电容值，并籍由信号读取单元来检测电容值后并输出；以及一周边电路，该周边电路与所述信号读取单元连接，该周边电路包括有多个字元线及多个位元线，其中字元线及位元线呈网状交错排列而穿插在压力传感器陈列中，且多个字元线及多个位元线分别连接至一列解码器及一连续二次取样器中，并利用多个行控制线将连续二次取样器与行解码器进行连接，以控制位元线资料的读取，其中周边电路先输入一第一控制电压，使平行板感测电容及参考电容其中之一的两端产生有电压差，另一则无电压差，并再输入一第二控制电压，使平行板感测电容及参考电容进行电荷分享，以便将每一压力传感器稳定后的电压输出。