发明名称 A MICRO-MECHANICAL CAPACITIVE INDUCTIVE SENSOR FOR WIRELESS DETECTION OF RELATIVE OR ABSOLUTE PRESSURE
摘要
申请公布号 AU2003253656(A1) 申请公布日期 2003.12.31
申请号 AU20030253656 申请日期 2003.06.18
申请人 CORPORATION FOR NATIONAL RESEARCH INITIATIVES 发明人 MICHAEL PEDERSEN;MEHMET OZGUR;MICHAEL, A. HUFF
分类号 G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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