| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER LA FABBRICAZIONE DI UN ELEMENTO OSCILLANTE MICROLAVORATO, IN PARTICOLARE UNO SPECCHIO PER COMMUTATORI OTTICI. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITTO20020565(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.29 |
| 申请号 |
IT2002TO00565 |
申请日期 |
2002.06.28 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS SRL |
发明人 |
MASTROMATTEO UBALDO;MURARI BRUNO |
| 分类号 |
G02B26/00;G02B27/09;H01L31/0232;H01L31/0328 |
主分类号 |
G02B26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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