| 发明名称 |
METHOD FOR BUFFER STI SCHEME WITH A HARD MASK LAYER AS AN OXIDATION BARRIER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG100788(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.26 |
| 申请号 |
SG20020002079 |
申请日期 |
2002.04.09 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
SENG-KEONG VICTOR LIM;FENG CHEN;ALEX SEE;WANG LING GOH |
| 分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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