发明名称 EPITAXIAL PROCESS AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 MY6900245(A) 申请公布日期 1969.12.31
申请号 MY19690000245 申请日期 1969.12.31
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人
分类号 C30B25/14;(IPC1-7):C22B41/00;H01L21/20 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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