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发明名称 VERBESSERTES PRÜFSYSTEM FÜR PROBEN
摘要
申请公布号 DE69819929(D1) 申请公布日期 2003.12.24
申请号 DE19986019929 申请日期 1998.09.18
申请人 KLA-TENCOR CORP., SAN JOSE 发明人 VAEZ-IRAVANI, MEHDI;STOKOWSKI, STANLEY;ZHAO, GUOHENG
分类号 G01N21/956;G01J3/44;G01N21/00;G01N21/21;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/95;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/00;G01N21/86;G01B11/24;G01B7/34 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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