半导体制造装置用挡气板

摘要

1.因左视图与右视图对称，故省略左视图。2.如使用状态剖视参考图所示，本外观设计产品是用于堵塞搬出搬入处理基板的搬出搬入口的物品，根据处理情况，通过压气缸等来上下驱动。本外观设计产品，以与处理容器内壁相同的曲率弯曲地形成，以便在堵塞搬出搬入口的状态下，不在真空容器内形成凹凸，从而在真空容器内形成均匀的等离子体。在附着有反应生成物时，可很容易地取下并洗干净。该物品的材质是铝-氧化铝等。