发明名称 Anordnung und Verfahren zum Testen einer Vielzahl von Halbleiterchips auf Waferebene
摘要 Die Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zum Testen einer Vielzahl von Halbleiterchips (7) auf Waferebene, bei der bzw. dem eine Zwischenverdrahtungsebene (10) mit einem globalen Testbus (12) und Testpads (11) auf die Oberfläche des Wafers (6) aufgetragen wird.
申请公布号 DE19936321(C2) 申请公布日期 2003.12.24
申请号 DE1999136321 申请日期 1999.08.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 OHLHOFF, CARSTEN
分类号 H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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