| 发明名称 |
Sensor und Verfahren zur Herstellung eines Sensors |
| 摘要 |
Es wird ein Sensor und ein Verfahren vorgeschlagen, wobei der Sensor zur Messung von hohen Drücken geeignet ist, wobei in ein Halbleitermaterial (51) eine Kaverne (500) mit großem Aspektverhältnis eingebracht ist.
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| 申请公布号 |
DE10226034(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.24 |
| 申请号 |
DE20021026034 |
申请日期 |
2002.06.12 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
WEIBLEN, KURT;MUCHOW, JOERG;BENZEL, HUBERT;PINTER, STEFAN;ZAPPEL, BERNHARD;MUELHEIM, RICHARD;GUENSCHEL, ROLAND |
| 分类号 |
G01L9/00;B81B3/00;B81C1/00;G01L9/02;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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