发明名称 SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING A SENSOR
摘要 <p>Es wird ein Sensor und ein Verfahren vorgeschlagen, wobei der Sensor zur Messung von hohen Drücken geeignet ist, wobei in ein Halbleitermaterial (51) eine Kaverne (500) mit grossem Aspektverhältnis eingebracht ist.</p>
申请公布号 WO2003106955(P1) 申请公布日期 2003.12.24
申请号 DE2003000422 申请日期 2003.02.13
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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