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发明名称
SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING A SENSOR
摘要
<p>Es wird ein Sensor und ein Verfahren vorgeschlagen, wobei der Sensor zur Messung von hohen Drücken geeignet ist, wobei in ein Halbleitermaterial (51) eine Kaverne (500) mit grossem Aspektverhältnis eingebracht ist.</p>
申请公布号
WO2003106955(P1)
申请公布日期
2003.12.24
申请号
DE2003000422
申请日期
2003.02.13
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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