发明名称 Halbleiterbauelement und Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements
摘要
申请公布号 DE10125711(C2) 申请公布日期 2003.12.24
申请号 DE20011025711 申请日期 2001.05.28
申请人 IPAG - INNOVATIVE PROCESSING AG 发明人 VELLING, PETER
分类号 H01L29/15;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/88;(IPC1-7):H01L29/15;H01L21/328;H01L29/80 主分类号 H01L29/15
代理机构 代理人
主权项
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