发明名称 |
Halbleiterbauelement und Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10125711(C2) |
申请公布日期 |
2003.12.24 |
申请号 |
DE20011025711 |
申请日期 |
2001.05.28 |
申请人 |
IPAG - INNOVATIVE PROCESSING AG |
发明人 |
VELLING, PETER |
分类号 |
H01L29/15;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/88;(IPC1-7):H01L29/15;H01L21/328;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/15 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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