阴极电弧源和起弧的方法

摘要

阴极电弧源具有用于产生彼此相反或反向的第一和第二磁场的装置。所得到的磁场包括靶和衬底之间但接近于靶的零点。在零点垂直于靶的场强为零，而在零点平行于靶的场强很强。靶是通过没有粘合材料而在高温和高压力下模压石墨粉末制成的。源和靶都对减小淀积膜中的宏观粒子起作用。

主权项

1、用于从阴极靶产生正碳离子的阴极电弧源，所述离子是在基本上垂直于靶前表面的方向发射的，该阴极电弧源包括阴极、阳极、真空室、产生正离子的阴极靶和用于在真空室中产生磁场的装置，其特征在于，磁场具有基本上垂直于靶前表面的方向和在靶上面和真空室内部的位置上的零场强，该磁场是由位于靶下面的第一磁场产生装置和位于靶上面的第二磁场产生装置产生的磁场得到的。