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发明名称 ZEITOPTIMIERTE BAHN FÜR ROBOTER MIT MEHREREN WERKZEUGEN
摘要
申请公布号 DE69627879(T2) 申请公布日期 2003.12.24
申请号 DE19966027879T 申请日期 1996.02.16
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 LUCAS, BRIAN MARK
分类号 B65G49/07;B25J9/10;B25J9/16;B25J9/18;G05B19/416;G05D3/12;H01L21/677;(IPC1-7):G11B3/34;G05B13/00;B66B1/28 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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