发明名称 | 制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置 | ||
摘要 | 本发明是一种制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置。其方法是:在氮气氛下,用脉冲电弧放电方式,将溶液在常压和脉冲电压2~30KV下,诱导电极产生脉冲电弧放电,使溶液电离成含碳、氮的等离子体,冲向并沉积在基板(6)上,制得结晶氮化碳薄膜。该装置设有脉冲电弧放电的机构及高压和电弧产生电路。该机构包括基板(6)和与之相连的电加热器(7),基板(6)、电加热器(7)和电极位于半密封箱体(9)腔内,基板(6)在电极的下方或四周;设有2条带有控制阀(1)的管道(2),分别是通氮气和溶液的管道,其下端伸入半密封箱体(9)腔内;通溶液的管道,其下端出口处于电极的上方。本发明具有产率高、工艺简单和利于推广等优点。 | ||
申请公布号 | CN1462818A | 申请公布日期 | 2003.12.24 |
申请号 | CN03128121.4 | 申请日期 | 2003.06.10 |
申请人 | 武汉化工学院 | 发明人 | 马志斌;万军;汪建华;王卫红 |
分类号 | C23C16/515;C23C16/34 | 主分类号 | C23C16/515 |
代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人 | 王守仁 |
主权项 | 1.一种制备结晶氮化碳薄膜的方法,其特征是在氮气氛下,用脉冲电弧放电方式,将溶液在常压和脉冲电压2~30KV条件下,诱导电极产生脉冲电弧放电,使溶液电离成含碳、氮的等离子体,冲向并沉积在基板(6)上,制得结晶氮化碳薄膜;溶液是有机溶液,或有机溶液与氨水的混合溶液。 | ||
地址 | 430074湖北省武汉市洪山区卓刀泉路366号 |