MATERIAL EVAPORATION CHAMBER WITH DIFFERENTIAL VACUUM PUMPING

摘要

L'invention concerne une chambre d'évaporation de matériaux comprenant une chambre à vide (10), une première unité de pompage (13) pour pomper ladite chambre et des sources de matériau. Selon l'invention, une paroi (23) pouvan t assurer une étanchéité totale ou partielle au vide, délimite au sein de cett e chambre un premier volume (25) et un deuxième volume (22). Certaines sources de matériau (17) ayant un axe principal (18) sont placées dans le deuxième volume (22). Ce deuxième volume (22) est pompé par une deuxième unité de pompage (24). La paroi (23) comporte des évidements (26) qui sont chacun centrés sur l'axe principal (18) d'une des sources de matériau (17). La chambre d'évaporation comprend également des moyens (27) pour obturer ou dégager chacun desdits évidements (26), lesdits moyens (27) étant contrôlés individuellement pour protéger les sources de matériau (17) ayant un axe principal (18) non utilisées.