发明名称 FORMATION OF THIN FILM RESISTORS
摘要
申请公布号 IL156217(D0) 申请公布日期 2003.12.23
申请号 IL20030156217 申请日期 2003.05.29
申请人 MORTON INTERNATIONAL, INC.;MICROCOATING TECHNOLOGIES INC. 发明人
分类号 C23C;C23C16/40;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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