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发明名称 METHOD FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 IL156179(D0) 申请公布日期 2003.12.23
申请号 IL20010156179 申请日期 2001.11.28
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人
分类号 H05B3/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L 主分类号 H05B3/00
代理机构 代理人
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