| 发明名称 |
Apparatus and method for cassette-less transfer of wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003273852(A8) |
申请公布日期 |
2003.12.22 |
| 申请号 |
AU20030273852 |
申请日期 |
2003.06.09 |
| 申请人 |
AKRION, LLC |
发明人 |
SVEN EVERS;DOUGLAS R. FARNLUND;EDWARD R. FIX;MICHAEL J. VASHRO;TODD C. MOHLER |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B65G65/30 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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