| 主权项 |
1.一种模具清洁用橡胶合成物,其特征为在该合成物总重中,橡胶含量在30-60%,无机添加物含量在20-60%,清洁化合物含量在1-20%,硬化剂含量在0.5-5%,该橡胶合成物中之橡胶是乙烯-丙二烯单聚物橡胶(EPDM)、天然橡胶(NR)、二苯乙烯-丁烯橡胶(SBR)、丁二烯橡胶(BR)、氯丁橡胶(CR)、硝基-丁二烯橡胶(NRB)氟化橡胶、聚丙烯橡胶、矽橡胶及丁基橡胶中的一种、两种以上的混合物或这些物质的衍生物;其中该无机添加料是指对污染物的吸收力大或非表面积大的二氧化矽、活性氧化铝(Activated Alumina)、钜化矽、矽胶、非结晶矽酸铝(AmorphousAluminosilicate)、结晶矽酸铝;其中该清洁化合物是指氨基醇系化合物、羟基及异唑系化合物系列中的一或两种以上的混合物;其中该硬化剂是指2,5-二甲基-2,5-双-(第三-丁基过氧)-己炔-3.二-第三-丁基过氧化物、2,5-二甲基-2,5-双-(第三-丁基过氧)-己炔、第三-丁基枯基过氧化物、双-(第三-丁基过氧-I-丙基)-苯、二枯基过氧化物、4,4-二-第三-丁基过氧-正-丁基戊酸、第三-丁基过氧苯甲酸、1,1-二-第三-丁基过氧-3,3,5-三甲基环己烷、二-苯甲醯过氧化物、双-(2,4-二氯苯甲醯)-过氧化物及硫中的一种或两种以上的混合物为特点的模具清洁用橡胶合成物。2.如申请专利范围第1项所述之橡胶合成物,其特征为以蜜胺树脂或纤维素助剂或纤维质作为清洁助剂加入合成物总量的1-20%,及/或加入微量用于观察污染物是否脱离的氧化钛剂等色料。3.如申请专利范围第2项所述之橡胶合成物,其特征为该结晶矽酸铝为34种以上的天然沸石和100多种合成沸石及发光沸石。4.如申请专利范围第1项所述之橡胶合成物,其特征为该无机添加料为沸石、平均细孔大小为3-20的其他无机物。5.如申请专利范围第1项所述之橡胶合成物,其特征为该模具为半导体制造用模具。6.如申请专利范围第1至5项中任一项所述之橡胶合成物,其特征为以包括向模具内加入一定量的该橡胶合成物,施加160-210℃的温度和15-100 kgf/cm2的压力,持续2-10分钟,使合成物硬化成模具内部形状,并使模具内的污染物被吸收到硬化橡胶树脂内,然后将其取掉的过程之方法。 |
