| 主权项 |
1.一种洗净装置,系具备有:使臭氧供给源所供应的臭氧溶解于洗净水中的臭氧溶解设备;以及积存含该臭氧之洗净水,且被洗净物可浸渍于该积存的洗净水中之洗净水槽,其特征在于:前述洗净水系含有溴化硷。2.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中,溴化硷的浓度为1至10%。3.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中具备有:将溴化硷供应至流入臭氧溶解设备之前的洗净水中之溴化硷供给源。4.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中具备有:将从臭氧溶解设备中流出的洗净水予以气液分离之气液分离器;以及将经分离为气相的臭氧予以净化之臭氧净化器。5.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中具备有:配置在洗净水槽内,用以使来自臭氧供给源的臭氧分散于洗净水槽内的散气设备。6.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中具备有:将从洗净水槽流出的洗净水供应至臭氧溶解设备之洗净水循环路径。7.一种洗净方法,系具备有:将臭氧供应至含有溴化硷之洗净水中的步骤;以及利用溴化硷与臭氧的反应生成物洗净被洗净物的步骤。8.如申请专利范围第7项之洗净方法,其中具备有:将使用于洗净的洗净水予以循环的步骤;以及再度将臭氧供应至该循环的洗净水中的步骤。图式简单说明:第1图系实施形态一之洗净装置之系统流程图。第2图系实施形态二之洗净装置之系统流程图。第3图系实施形态三之洗净装置之系统流程图。第4图系实施形态四之洗净装置之系统流程图。第5图系实施形态五之洗净装置之系统流程图。第6图系实施形态六之洗净装置之系统流程图。第7图系习知之洗净装置之系统流程图。 |
