| 发明名称 |
HIGH SELECTIVITY CMP SLURRY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003229070(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.19 |
| 申请号 |
AU20030229070 |
申请日期 |
2003.05.14 |
| 申请人 |
FERRO CORPORATION |
发明人 |
YIE-SHEIN HER;BRIAN EDELBACH;ERIC OSWALD |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3105;(IPC1-7):B24B1/00 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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