| 发明名称 |
PROCESS FOR CLEANING AND REPASSIVATING SEMICONDUCTOR EQUIPMENT PARTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002367999(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.19 |
| 申请号 |
AU20020367999 |
申请日期 |
2002.05.28 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
HENRY, C. PEEBLES |
| 分类号 |
B44C1/22;C23F1/00;(IPC1-7):B44C1/22 |
主分类号 |
B44C1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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