| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung transparenter leitfähiger Schichten auf der Basis von Oxiden der chemischen Elemente Sn, Zn, In, Ce durch Magnetronsputtern, bei welchem dem für die Ausbildung des Plasmas verwendeten Arbeitsgas ein Anteil von 5 bis 50 Volumenprozent Helium zugesetzt wird.</p> |
