| 摘要 |
<p>Eine Vorrichtung zur Substratbehandlung mittels Laserstrahlung umfasst einen Drehspiegel (16) oder dergleichen, durch den ein einfallender Laserstrahl (12) in verschiedene Strahlpfade reflektierbar ist, deren Strahlen so auf das Substrat (10) fokussierbar sind, dass sich für die verschiedenen Strahlpfade unterschiedliche Positionen der betreffenden Foki auf dem Substrat ergeben. Dabei ist zumindest zwei Strahlpfaden eine gemeinsame Fokussierlinse zugeordnet, über die die betreffenden Strahlen an den betreffenden Positionen auf das Substrat (10) fokussierbar sind.</p> |
