Verfahren und Vorrichtung zur Spülwasserrückführung und Reinigung eines Prozessbades

摘要

Es ist ein Verfahren und ein Vorrichtung zum Reinigen eines in einem Prozess verwendeten Prozessbades angegeben. Bei dem Verfahren wird zumindest ein Teil des in dem Prozess verwendeten Prozessbades und das gesamte nach dem Prozess anfallende Spülwasser eingedampft, bis eine Phasentrennung in eine untere Phase, eine mittlere Phase und eine obere Phase erfolgt, und die untere und die obere Phase werden abgetrennt.