Positioniereinrichtung für Halbleiterobjekte

摘要

Bei einer Positioniereinrichtung für Halbleiterobjekte besteht die Aufgabe, den Druchsatz bei einer uneingeschränkten Vorder- und Rückseiten-Inspektion von Halbleiterobjekten sowie die dabei erforderliche Sicherheit zu erhöhen. DOLLAR A Die Positioniereinrichtung enthält einen rahmenförmigen Objekthalter, der einen Freiraum für die Aufnahme des Halbleiterobjektes umschließt und Auflagen und Andruckelemente zur Klemmung des Halbleiterobjektes in dessen Randbereich enthält. Jedes Andruckelement ist in dem Objekthalter mit einem Antrieb verbunden, der eine Bewegung des Andruckelementes in einer Ebene erzeugt, die senkrecht zu der Auflageebene gerichtet ist, wobei das Halbleiterobjekt in einer Endposition an der Auflage fixiert ist und in der anderen Endposition, bei der das Andruckelement aus dem Freiraum herausgenommen ist, zur Handhabung freigegeben ist. DOLLAR A Derartige Einrichtungen können zur Positionierung von flachen Objekten im Raum und bei der Inspektion von Halbleiterwafern oder Flachbildschirmen in der Fertigung verwendet werden.