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发明名称 Eine pneumatisch gekoppelte Wärmesenkemontage
摘要
申请公布号 DE69530732(T2) 申请公布日期 2003.12.18
申请号 DE1995630732T 申请日期 1995.09.11
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 WIDMAYER, ROBERT B.
分类号 H01L23/467;(IPC1-7):H01L23/467 主分类号 H01L23/467
代理机构 代理人
主权项
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