发明名称 METHOD FOR DEPOSITING MIXED OXIDE FILMS CONTAINING ALUMINUM OXIDE
摘要
申请公布号 US3511703(A) 申请公布日期 1970.05.12
申请号 USD3511703 申请日期 1968.12.12
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 DAVID R. PETERSON
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/54;H01L21/316;(IPC1-7):H01B3/10 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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