| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Freilegevorrichtung zum Freilegen von elektrisch leitenden Materialien (2) in nicht leitenden Trägern (1) mit einer elektrisch leitenden Entfernungseinrichtung (15) zum Entfernen von Material des nicht leitenden Trägers (1), wobei der Vorschub der Entfernungseinrichtung steuerbar ist. Eine Abschirmelektrode (7, 8, 9) befindet sich in der Nähe des für den zu bearbeitenden Träger (1) vorgesehenen Platzes, wobei eine Wechselspannung zwischen die Entfernungseinrichtung (15) und die Abschirmelektrode (7, 8, 9) angelegt wird. Eine Empfangselektrode (10) befindet sich in der Nähe des für den zu bearbeitenden Träger (1) vorgesehenen Platzes. Eine Vorschubsteuerungseinrichtung ist mit der Empfangselektrode leitend verbunden. Die Vorschubsteuerungseinrichtung (12) steuert den Vorschub der Entfernungseinrichtung (15) in Abhängigkeit von der an der Empfangselektrode anliegenden Spannung. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung einer Freilegevorrichtung. Schließlich betrifft die Erfindung eine Freilegevorrichtung, bei der die Wechselspannung zwischen die Empfangselektrode (10) und die Abschirmelektroden angelegt wird, wobei der Vorschubsteuerungseinrichtung (12) die an der Entfernungseinrichtung (15) anliegende Spannung zugeführt wird, sowie ein entsprechendes Verfahren.
|
