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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATING PROCESS
摘要
申请公布号 KR20030095189(A) 申请公布日期 2003.12.18
申请号 KR20030000520 申请日期 2003.01.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;B24B7/20;B24B37/04;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/4763;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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