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发明名称 VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG eines Plasmas
摘要
申请公布号 DE69630705(D1) 申请公布日期 2003.12.18
申请号 DE19966030705 申请日期 1996.09.24
申请人 KOLOC, PAUL M. 发明人 KOLOC, PAUL M.
分类号 G21B1/11;H05H1/02;H05H1/04;H05H1/24;H05H1/54;(IPC1-7):G21B1/00;H05H1/00 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
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