透明导电薄膜用靶、透明导电薄膜及其制造方法、显示器用电极材料、有机电致发光元件和太阳能电池

摘要

一种透明导电薄膜用靶，其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和/或钼，其中通过使氧化铟粉末和氧化钨粉末和/或氧化钼粉末成形，然后加热并烧结该成形体，使得溅射后的薄膜具有氧化铟作为主要组分，并含有原子比(W+Mo)/In为0.0040－0.0470的钨和/或钼而获得所述透明导电薄膜用靶，其中该透明导电薄膜具有优异的表面光滑度和6×10^－4Ω·cm或更低的低电阻率，并且甚至当在170℃下加热时，其表面光滑度和电阻率也不会变化。

主权项

1.一种透明导电薄膜用靶，其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和/或钼，其中通过制备和形成氧化铟粉末和氧化钨粉末和/或氧化钼粉末，然后加热并烧结该成形体，使得溅射后的薄膜具有氧化铟作为主要组分，并含有原子比(W+Mo)/In为0.0040-0.0470的钨和/或钼而获得所述透明导电薄膜用靶。