发明名称 Scanning Type Electron Microscope
摘要
申请公布号 GB1192816(A) 申请公布日期 1970.05.20
申请号 GB19670046241 申请日期 1967.10.10
申请人 HITACHI LTD. 发明人
分类号 H01J37/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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