含氟环烯聚合物,其环烯单体,聚合物制备方法及聚合物的应用

摘要

本发明旨为提供一种在不超过193nm的真空紫外区域具有优异的光透射性能的含氟聚合物，一种优选用于制备该含氟聚合物的单体，一种用于制备该含氟聚合物的方法以及该含氟聚合物的应用。含氟环烯聚合物具有至少一个由上列结构式(1)代表的重复单元结构，其对157nm的紫外光具有不大于3.0μm^－1的吸收系数。其中，R¹至R¹²各自为氟、具有1～20个碳原子的含氟烷基等；X¹为－CR^aR^b－、－NR^a－和－PR^a－(R^a和R^b各自为氟、具有1～20个碳原子的含氟烷基，氢、－O－、－S－、具有1～20个碳原子的烷基等)；R¹至R¹²中的至少一个以及X¹为氟或含氟基团；n为0或1～3的整数。

主权项

1.一种含氟环烯聚合物，其具有至少一个由下列结构式(1)代表的重复单元结构，并具有对157nm的紫外光的不大于3.0μm^-1的吸收系数；其中，R¹至R¹²中的至少一个以及X¹为下列氟或含氟基团，R¹至R¹²各自为氟或含氟基团，该含氟基团选自具有1～20个碳原子的含氟烷基、具有1～20个碳原子的含氟芳基、具有1～20个碳原子的含氟和含硅的烷基、具有1～20个碳原子的含氟烷氧基、具有2～20个碳原子的含氟和含醚基的烷基、具有2～20个碳原子的含氟烷氧羰基、具有2～20个碳原子的含氟烷基羰基、具有3～20个碳原子的含氟和含酯基的烷基、具有2～20个碳原子的含氟和含羧基的烷基、具有2～20个碳原子的含氟和含氰基的烷基、具有1～20个碳原子的含氟和含氯烷基、具有1～20个碳原子的含氟和含溴烷基、具有1～20个碳原子的含氟和含碘烷基，X¹为含氟基团，其选自-CR^aR^b-、-NR^a-和-PR^a-(满足-CR^aR^b-中的R^a和R^b的至少一个以及-NR^a-和-PR^a-中的R^a各自选自氟、具有1～20个碳原子的含氟烷基、具有1～20个碳原子的含氟和含硅烷基、具有1～20个碳原子的含氟烷氧基、具有2～20个碳原子的含氟和含醚基的烷基、具有2～20个碳原子的含氟烷氧羰基、具有2～20个碳原子的含氟烷基羰基、具有3～20个碳原子的含氟和含酯基的烷基、具有2～20个碳原子的含氟和含羧基的烷基、具有2～20个碳原子的含氟和含氰基的烷基、具有1～20个碳原子的含氟和含氯烷基、具有1～20个碳原子的含氟和含溴烷基、具有1～20个碳原子的含氟和含碘烷基)，X¹可以选自-O-和-S-，R¹、R²、R¹¹和R¹²中的至少两个相互键连形成环状结构，并且，n为0或1～3的整数。