真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板

摘要

本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动档板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动档板。

主权项

1、真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板，其特征在于：包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，在基板10本体的中心线上制备观察孔11和观察孔16，在基板10的本体上固定安置有转轮12、转动轮13、弹簧14和磁铁15，磁铁15位于基板10边缘，观察孔11位于基板10的边缘，观察孔16位于观察孔11的内侧并且偏置于基板10的中心，转轮12和转动轮13均匀分布安置在基板10上，在转轮12与转动轮13之间或在转轮12之间安置观察孔11，弹簧14置于转动轮13的转动轴上。