发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiter-Bauelementen und aehnlichen Elementen
摘要
申请公布号 DE1614202(A1) 申请公布日期 1970.05.27
申请号 DE19671614202 申请日期 1967.12.07
申请人 MONSANTO COMPANY 发明人 LEE KOEPP,RONALD;STANLEY BEYER,DONALD
分类号 H01L21/00;H01L21/18;H01L21/78 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址