主权项 |
1、一种扫描隧道显微镜的扫描探头,包括:外罩(1)、带盒盖(2)的内盒(3)、安装平台(4)、底座(5)和探针(32),其特征在于:<1>、所说的外罩(1)是下端带有凸缘(10)的金属罩(11),凸缘(10)上均匀分布有悬吊螺栓(101),外罩(1)罩在内盒(3)的外面;<2>、所说的带有盒盖(2)的内盒(3)包括外壳(30),外壳(30)围成的收容室(301),外壳(30)顶端上的定位孔(302)与盒盖(2)上的定位柱(20)相配,带有金属管(35)的探针(32)针尖从外壳(30)底板上的小孔内伸出,探针(32)的金属管(35)与外壳(30)底板之间有绝缘套管(33),探针(32)与外壳(30)构成一体,在收容室(301)内置有电路板(31),探针(30)的尾端连接在电路板(31)上,外壳(30)的侧壁上置有与控制系统上电子插头(62)相配的电子插座(34);<3>、所说的安装平台(4)上置有两个手动调节杆(40)和一个自动调节杆(41),三个调节杆(40、41)的分布呈现一等腰三角形,自动调节杆(41)位于等腰三角形的顶点,在三个调节杆(40、41)之间置有压电陶瓷管(60),在压电陶瓷管(60)上置放待测样品台(61),压电陶瓷管(60)上有D形接口(63),安装平台(4)的底下有支撑柱(43),支撑柱(43)置于底座(5)上,安装平台(4)与底座(5)构成扫描座(6);<4>、上述的内盒(3)置于安装平台(4)上,安装平台(4)上的三个调节杆(40、41)顶在内盒(3)的外壳(30)底板上,从外壳(30)底板上小孔内伸出的探针(32)针尖对准安装平台(4)上压电陶瓷管(60)上的待测样品台(61)。 |